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XY轴行程1 ±50mm至±150mm Z轴行程2 ±3mm至±53mm θX,θY行程3 ±3°至±17.5° θZ行程 360° 驱动器行程4 6mm至106mm 驱动器分辨率 5nm,标准 X轴小步长 20nm至50nm Y轴小步... ...

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